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奮起直追 推動高能離(lí)子注入機自立自強-中(zhōng)國電(diàn)子科技集團有限公司

來源:新聞中(zhōng)心 作者:新聞中(zhōng)心 時間:2023-03-04

編者按:

電(diàn)子強軍,科技報國。中(zhōng)國電(diàn)科深入學習貫徹習近平總書(shū)記重要講話(huà)精神和重要指示批示精神,秉承軍工(gōng)電(diàn)子主力軍、網信事業國家隊、國家戰略科技力量的使命責任,堅決履行強軍首責,聚力推動改革創新,用一(yī)型型“大(dà)國重器”服務武器裝備現代化和高水平科技自立自強。爲展現電(diàn)科人爲強國強軍事業的不懈追求,特開(kāi)設“中(zhōng)國電(diàn)科與大(dà)國重器”專欄報道,今日推出報道“奮起直追 推動高能離(lí)子注入機自立自強”。

  

  

“成功了!成功了!”

  仲夏深夜,在北(běi)京東南(nán)方的中(zhōng)國電(diàn)科所屬北(běi)京爍科中(zhōng)科信設備研發中(zhōng)心,傳來一(yī)聲聲激動的呐喊聲,困擾研發團隊已久的高能離(lí)子注入機核心技術難關得到突破!幾日後,好消息傳來,由該團隊自主研制的國内首台高能離(lí)子注入機順利進駐國内先進集成電(diàn)路大(dà)生(shēng)産線。

  高能離(lí)子注入機是離(lí)子注入機中(zhōng)技術難度最大(dà)的機型,是我(wǒ)國集成電(diàn)路制造裝備産業鏈上亟待攻克的關鍵一(yī)環。

  習近平總書(shū)記指出,突破“卡脖子”關鍵核心技術必須堅持問題導向,發揮新型舉國體(tǐ)制優勢,踔厲奮發、奮起直追,加快實現科技自立自強。

  中(zhōng)國電(diàn)科貫徹落實習近平總書(shū)記重要指示批示精神,發揮集團公司國家戰略科技力量重要作用,下(xià)定決心、保持恒心、找準重心,加快補齊産業鏈供應鏈短闆弱項,提升關鍵核心技術掌控力。

  作爲集成電(diàn)路芯片制造的關鍵設備,離(lí)子注入機設備的研制難度極大(dà)、研制基礎薄弱。“決不能讓芯片制造斷鏈短鏈!”懷揣裝備報國的理想,研發團隊正式向關鍵裝備研制發起了挑戰,經過艱苦努力,在成千上萬遍實驗模拟後,實現了中(zhōng)束流、大(dà)束流、高能、特種應用及第三代半導體(tǐ)等全譜系離(lí)子注入機自主創新發展,大(dà)幅縮小(xiǎo)了與國際一(yī)流水平差距。

  聚焦全産業鏈,高端裝備産業化也已然邁出新步伐。中(zhōng)國電(diàn)科董事長、黨組書(shū)記陳肇雄強調,要充分(fēn)發揮電(diàn)子信息領域完整産業鏈優勢,統籌戰略需求,保持恒心定力,補齊短闆弱項,強化“非對稱”趕超戰略思維,以長補短、換道超車(chē),堅決打赢關鍵核心技術攻堅戰。

  堅持推進高水平科技自立自強澎湃向前。近年來,中(zhōng)國電(diàn)科積極布局集成電(diàn)路制造裝備、三代半導體(tǐ)等一(yī)批重點産業領域,成效顯著:圍繞支撐集成電(diàn)路産業發展的電(diàn)子制造裝備領域、電(diàn)子功能材料領域,中(zhōng)國電(diàn)科已形成離(lí)子注入機、化學機械平坦化設備(CMP)等拳頭産品,集成電(diàn)路關鍵制造裝備産業規模化、産品系列化步伐明顯加快,關鍵領域保障能力不斷增強,有效提升産業鏈供應鏈現代化水平;聚焦半導體(tǐ)制造、半導體(tǐ)應用,中(zhōng)國電(diàn)科連續攻克數百項關鍵核心技術,填補了産業鏈空白(bái);着力打造國産集成電(diàn)路和三代半導體(tǐ)裝備驗證平台,封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務核心競争力優勢不斷提升。

  未來,中(zhōng)國電(diàn)科将繼續瞄準國家重大(dà)戰略需求,在關鍵核心技術上全力攻堅,爲高水平科技自立自強作出更大(dà)貢獻。